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离子刻蚀 IBE

上海凯发娱发com 代理电子束蒸镀设备, 真空镀膜机专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. 提供各种类型的 MBE, E-beam, Sputter, IBE. 提供客制化设备, 擅长各种类型系统的集成.

离子刻蚀 IBE

 IBE
 真空度 5E-10 torr, 离子源 RFICP 100

离子蚀刻 IBE

 IBE
 真空度 5E-10 torr , 离子源 KDC 75

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